LST體微缺陷測試設備

產品簡介
LST是檢測半導體材料的體微缺陷有力工具，通過CCD相機，對入射光在樣品邊沿的散射進行掃描，獲得體微缺陷分布信息。

產品型號：

更新時間：2025-09-16

廠商性質：生產廠家

訪問量：1197

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導體材料測試

體微缺陷測試霍爾電阻遷移率光伏光致發光深能級瞬態譜測試橢偏拉曼AFM 半導體多功能測試 CV測試系統集成測試儀器租賃

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Capability:

物鏡自動調節
納米級移動
對缺陷濃度和尺寸更加靈敏
測試尺寸:20nm到15nm
缺陷濃度:1e5-2.5e10cm^–³

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