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當前位置:首頁產品中心半導體材料測試體微缺陷測試LST體微缺陷測試設備

LST體微缺陷測試設備

產品簡介

LST是檢測半導體材料的體微缺陷有力工具,通過CCD相機,對入射光在樣品邊沿的散射進行掃描,獲得體微缺陷分布信息。

產品型號:
更新時間:2025-09-16
廠商性質:生產廠家
訪問量:1197
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Capability:

  • 物鏡自動調節

  • 納米級移動

  • 對缺陷濃度和尺寸更加靈敏

  • 測試尺寸:20nm到15nm

  • 缺陷濃度:1e5-2.5e10cm3

LST體微缺陷測試設備










上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發展,上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業內具有較高的知zhi名度和美譽度,客戶遍布全國。我們將繼續努力,不斷提升市場地位和影響力。

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